Legierungs-Titanspritzenziel Gr1 Gr2 Gr5 TiAl für PVD-Beschichtung

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl-Titanlegierung Titanspritzerziel für PVD-Beschichtung

- Ich weiß.

1Das Zielmaterial

Das Zielmaterial ist das Zielmaterial, das von mit hoher Geschwindigkeit geladenen Partikeln bombardiert wird.aus rostfreiem Stahl, Titan, Nickelziele usw.), können verschiedene Filmsysteme (wie z.B. superharte, verschleißbeständige, korrosionsfeste Legierungsfolien usw.) hergestellt werden.

(1) Metallziele: Nickelziele, Ni, Titanziele, Ti, Zinkziele, Zn, Chromziele, Cr, Magnesiumziele, Mg, Niobziele, Nb, Zinnziele, Sn, Aluminiumziele, Al, Indiumziele, In,Eisenziel, Fe, Zirkonium-Aluminium-Ziel, ZrAl, Titanium-Aluminium-Ziel, TiAl, Zirkonium-Ziel, Zr, Aluminium-Silcium-Ziel, AlSi, Silizium-Ziel, Si, Kupfer-Ziel Cu, Tantal-Ziel T, a,Germaniumziel, Ge, Silberziel, Ag, Kobaltziel, Co, Goldziel, Au, Gadoliniumziel, Gd, Lanthanziel, La, Yttriumziel, Y, Ceriumziel, Ce, Wolframziel, w, Edelstahlziel,Nickelchrom-Ziel, NiCr, Hafnium Ziel, Hf, Molybdän Ziel, Mo, Eisen-Nickel Ziel, FeNi, Wolfram Ziel, W usw.

(2) Keramikziele: ITO-Ziel, Magnesiumoxid-Ziel, Eisenoxid-Ziel, Siliziumnitrid-Ziel, Siliziumkarbid-Ziel, Titannitrid-Ziel, Chrom-Oxid-Ziel, Zinkoxid-Ziel,Ziel für Zinksulfid, Siliziumdioxid-Ziel, ein Ziel für Siliziumoxid, ein Ziel für Ceriumdioxid, ein Ziel für Zirkoniumdioxid, ein Ziel für Niobpentoxid, ein Ziel für Titandioxid, ein Ziel für Zirkoniumdioxid, ein Ziel für Hafniumdioxid,Titandiborid-Ziel, Zirkoniumdiborid-Ziel, Wolframtrioxid-Ziel, Aluminium-Oxid-Ziel, Tantal-Oxid-Ziel, Niob-Pentoxid-Ziel, Magnesiumfluorid-Ziel, Yttriumfluorid-Ziel, Zink-Selenid-Ziel,Aluminiumnitrid-Ziel, Siliziumnitrid-Ziel, Bornitrid-Ziel, Titannitrid-Ziel, Siliziumkarbid-Ziel, Lithiumniobat-Ziel, Praseodymium-Titanat-Ziel, Barium-Titanat-Ziel,Lanthan-Titanat-Ziel, Nickeloxid-Ziel, Sputterziel usw.

2Die wichtigsten Leistungsanforderungen des Ziels

(1) Reinheit

Die Reinheit ist einer der wichtigsten Leistungsindikatoren des Ziels, da die Reinheit des Ziels einen großen Einfluss auf die Leistung des Films hat.Die Reinheitsanforderungen der Zielmaterialien unterscheiden sich ebenfalls.Mit der schnellen Entwicklung der Mikroelektronikindustrie ist beispielsweise die Größe der Siliziumwafer von 6" auf 8" auf 12" gewachsen, und die Drahtbreite wurde von 0,5um auf 0,25um reduziert.18um oder sogar 0.13um, die bisherige Zielreinheit von 99,995% kann die technischen Anforderungen von 0,35umIC erfüllen, und die Vorbereitung von 0,18um-Linien erfordert 99,999% oder sogar 99,9999% für die Reinheit des Ziels.

(2) Verunreinigungsanteil

Unreinheiten in der Zielmasse sowie Sauerstoff und Wasserdampf in den Poren sind die Hauptreinigungsquellen für den abgelagerten Film.Verschiedene Zielgruppen haben unterschiedliche Anforderungen an unterschiedliche VerunreinigungswerteSo haben beispielsweise reine Aluminium- und Aluminiumlegierungsziele, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden, besondere Anforderungen an den Gehalt an Alkalimetallen und radioaktiven Elementen.

(3) Dichte

Um die Poren in den Festkörpern des Ziels zu reduzieren und die Leistung des gespritzten Films zu verbessern, ist es in der Regel erforderlich, dass das Ziel eine höhere Dichte aufweist.Die Dichte des Ziels beeinflusst nicht nur die SputterrateDie Bewegung des Films wird durch die Verringerung der Schleudertemperatur und die Verringerung der Schleudertemperatur beeinflusst.Erhöhung der Dichte und Festigkeit des Ziels ermöglicht es dem Ziel, der thermischen Belastung während des Sputterns besser standzuhaltenDie Dichte ist auch einer der wichtigsten Leistungsindikatoren des Ziels.

(4) Korngröße und Korngrößenverteilung

Das Zielmaterial ist in der Regel polykristallin und die Korngröße kann von Mikrometer bis Millimeter betragen.die Sputterrate des Ziels mit feinen Körnern ist schneller als die des Ziels mit groben Körnern; die Dicke des durch Sputtern des Ziels abgelagerten Folie mit geringem Korngrößenunterschied (einheitliche Verteilung) ist einheitlicher.

3. Material

(1)Reines Titan: GR1 GR2

(2) Titallegierung: Gr5-Titan, Aluminium-TiAl, Nickel-TiNi, TiCr, Zirkonium-TiZr, Kupfer-TiCu usw.

(3)Andere Materialien: Zirkonium-Sputterziele, Chrom-Sputterziele, Wolfram-Sputterziele, Kupfer-Sputterziele usw.

4. Zweck

Es wird in dekorativen Beschichtungen, verschleißresistenten Beschichtungen, CDs und VCDs in der Elektronikindustrie sowie in verschiedenen Magnetplattenbeschichtungen weit verbreitet.

Wolfram-Titan- (W-Ti) -Folien und auf Wolfram-Titan- (W-Ti) -Basis-Legierungsfolien sind Hochtemperatur-Legierungsfolien mit einer Reihe von unersetzlichen hervorragenden Eigenschaften.Wolfram hat Eigenschaften wie hohen SchmelzpunktW/Ti-Legierung hat einen geringen Widerstandskoeffizienten, eine gute thermische Stabilität und Oxidationsbeständigkeit.Dabei sind verschiedene Geräte mit einer Metallleitung versehen, die eine leitfähige Rolle spielt., wie Al, Cu und Ag, wurden weit verbreitet verwendet und erforscht.und hat eine schlechte Haftung an der dielektrischen SchichtEs ist leicht in die Substratmaterialien von Geräten wie Si und SiO2 zu diffundieren, und es wird bei niedrigerer Temperatur Metall und Si bilden.die Leistung des Geräts stark beeinträchtigenDie W-Ti-Legierung ist aufgrund ihrer stabilen thermomechanischen Eigenschaften, ihrer geringen Elektronenmobilität, ihrer hohen Korrosionsbeständigkeit und ihrer chemischen Stabilität leicht als Diffusionsschranke für Leitungen zu verwenden.besonders geeignet für den Einsatz in Umgebungen mit hoher Strömung und hoher Temperatur .

Detaillierte Bilder

Fabrik

Packung und Lieferung:

Wir verpacken das Zielmaterial mit Perlenbaumwolle und legen es in eine Holzkiste.und kann auch die Auswirkungen externer Güter auf das Produkt verhindern, und sicherstellen, dass das Produkt nach der Lieferung geliefert wird Integrität.

- Ein.Die versiegelte Verpackung wird dann in die Kartonkasse oder in das Standard-Standard-Kiss aus Sperrholz gelegt.

- Zwei.Exklusive Kartons mit dem Kundenlogo, jede einzelne Verpackung, um Käufern den Verkauf zu ermöglichen.

--- Annahme der Kundenanforderungen

Stellen Sie sicher, dass jedes Paket auf Sie zugeschnitten ist.Sie müssen sicherstellen, dass die Ware nicht beschädigt ist.