Titanziel Gr1 Gr2, reine Titandisketten-Spritzenziel-hohe Dichte

diskettenspritzenziel der hohen Qualität reines Titan-Gr1 Gr2 Titan

Das Zielmaterial ist das Zielmaterial, das durch Hochgeschwindigkeitsgeladene teilchen bombardiert wird. Es gibt Metalle, Legierungen, Oxide, etc. ersetzen verschiedene Zielmaterialien (wie Aluminium, Kupfer, Edelstahl, Titan, Nickelziele, etc.), Sie kann verschiedene Filmsysteme erhalten (wie super-harter, haltbarer, rostfester Legierungsfilm, etc.).

(1) Metallziele: Nickelziel, Ni, Titanziel, Ti, Zinkziel, Zn, Chromziel, Cr, Magnesiumziel, Magnesium, Niobiumziel, Notiz:, Zinnziel, Sn, Aluminiumziel, Al, Indiumziel herein Eisenziel, F.E., Zirkoniumaluminiumziel, ZrAl, Titanaluminiumziel, TiAl, Zirkoniumziel, Zr, Aluminiumsilikonziel, AlSi, Silikonziel, Si, Kupferziel Cu, Tantalziel T, a, Germaniumziel, GE, silbernes Ziel, AG, Kobaltziel, Co, Goldziel, Au, Gadoliniumziel, Gd, Lanthanziel, La, Yttriumziel, Y, Cerziel, Cer, Wolframtarget, w, Edelstahlziel, Nickelchromziel, NiCr, Hafnium Ziel, HF, Molybdänziel, MO, Eisennickelziel, FeNi, Wolframtarget, W, etc.

(2) keramische Ziele: ITO-Ziel, Magnesiumoxidziel, Eisenoxidziel, Silikonnitridziel, Silikonkarbidziel, Titan- Nitridziel, Chromoxidziel, Zinkoxidziel, Zinksulfidziel, Siliciumdioxidziel, ein Siliziumoxidziel, Ceroxidziel, Zirkoniumdioxidziel, Niobiumpentoxidziel, Titan- Dioxidziel, Zirkoniumdioxidziel, Hafniumdioxidziel, Titan-diboride Ziel, Zirkonium diboride Ziel, Wolframtrioxydziel, Aluminiumoxydziel, Tantaloxid, Niobiumpentoxidziel, Magnesiumfluoridziel, Yttriumfluoridziel, Zinkselenidziel, Aluminium-Nitrid-Ziel, Silikonnitridziel, Bornitridziel, Titannitridziel, Silikon Karbidziel, Lithium-Niobat-Ziel, Praseodymiumtitanatsziel, Bariumtitanatsziel, Lanthantitanatsziel, Nickeloxidziel, Spritzenziel, etc.

2. Die Hauptleistungsanforderungen des Ziels

(1) Reinheit

Reinheit ist einer der Hauptleistungsindikatoren des Ziels, weil die Reinheit des Ziels einen großen Einfluss auf die Leistung des Filmes hat. Jedoch in den praktischen Anwendungen, sind die Reinheitsgebote der Zielmaterialien auch unterschiedlich. Zum Beispiel mit der schnellen Entwicklung der Mikroelektronikindustrie, ist die Größe von Siliziumscheiben von 6", 8" bis 12" gewachsen, und die verdrahtende Breite ist von 0.5um zu 0.25um, 0.18um oder sogar 0.13um verringert worden, kann die vorhergehende Zielreinheit von 99,995% die technischen Bedingungen von 0.35umIC erfüllen, und die Vorbereitung von Linien 0.18um erfordert 99,999% oder sogar 99,9999% für die Reinheit des Ziels.

(2) Störstellengehalt

Verunreinigungen im Zielkörper und im Sauerstoff- und Wasserdampf in den Poren sind die Hauptquellen der Verschmutzung für den niedergelegten Film. Verschiedene Ziele haben verschiedene Anforderungen für unterschiedlichen Störstellengehalt. Zum Beispiel haben die Ziele der Reinaluminium- und Aluminiumlegierung, die in der Halbleiterindustrie benutzt werden, spezielle Anforderungen für Alkalimetallinhalt und Inhalt des radioaktiven Elements.

(3) Dichte

Um die Poren in den Körpern des Ziels zu verringern und die Leistung des gespritzten Filmes zu verbessern, wird das Ziel normalerweise angefordert um ein miteres hoher Dichte zu haben. Die Dichte des Ziels beeinflußt nicht nur die Spritzenrate, aber beeinflußt auch die elektrischen und optischen Eigenschaften des Filmes. Das höher die Zieldichte, das besser die Filmleistung. Darüber hinaus lässt die Erhöhung der Dichte und der Stärke des Ziels das Ziel der Wärmebelastung während des Spritzens besser widerstehen. Dichte ist auch einer der Schlüsselleistungsindikatoren des Ziels.

(4) Korngröße und Granulometrie

Das Zielmaterial ist normalerweise polykristallin, und die Korngröße kann im Auftrag der Mikrometer zu den Millimeter sein. Für das gleiche Zielmaterial ist die Spritzenrate des Ziels mit feinen Körnern schneller als die des Ziels mit Grobkorn; die Stärke des Filmes, der indem sie das Ziel mit einem kleinen Unterschied bezüglich der Korngröße niedergelegt wird (einheitliche Verteilung) ist einheitlicher spritzt.

3. Material

TA0, TA1, TA2, TA9, TA10, ZR2, ZR0, GR5, GR2, GR1, TC11, TC6, TC4, TC3, TC2, TC1

4. Zweck

Es ist in den dekorativen Beschichtungen, in den haltbaren Beschichtungen, in den CDs und in VCDs in der Elektronikindustrie sowie in den verschiedenen Beschichtungen der magnetischen Scheibe weitverbreitet.

Filme des Wolfram-Titans (W-Ti) und e-ansässig Legierungsfilme des Wolframtitans (W-Ti) sind Hochtemperaturlegierungsfilme mit einer Reihe unersetzlichen ausgezeichneten Eigenschaften. Wolfram hat Eigenschaften wie hochschmelzender Punkt-, hochfester und niedrigerausdehnungskoeffizient. Mit Ti hat Legierung niedrigen Widerstandkoeffizienten, gute Wärmebeständigkeit und Oxidationswiderstand. Wie verschiedene Geräte erfordern Sie Metallverdrahtung, die eine leitfähige Rolle, wie Al, Cu spielt, und AG sind weitverbreitet und erforscht gewesen. Jedoch wird das verdrahtende Metall selbst leicht oxidiert, reagiert mit der umgebenden Umwelt und hat mangelnde Haftung zur dielektrischen Schicht. Zu diffundieren ist einfach, in die Substratmaterialien von Geräten wie Si und SiO2, und es bildet Metall und Si bei einer niedrigeren Temperatur. Mittel, die als Verunreinigungen auftreten, vermindern groß die Leistung des Gerätes. Die W-Tilegierung ist einfach, als verdrahtende Diffusionssperre benutzt zu werden, die zu den stabilen thermomechanischen Eigenschaften, zur niedrigen Elektronenbeweglichkeit, zur hohen Korrosionsbeständigkeit und chemischen zur Stabilität passend ist, zu besonders passend für Gebrauch in der hohen gegenwärtiger und der hohen Temperatur Umwelt.

2.Image

3.Factory u. Zertifikat

4.Package u. Lieferung

Paket:

Wickeln Sie das Tizielmaterial mit Perlenbaumwolle ein und setzen Sie es in eine Holzkiste ein. Unsere angemessene Verpackungsmethode kann die Zielmaterialien vom Zusammenstoßen mit einander während des Transportes vermeiden und kann die Auswirkung von externen Waren auf das Produkt auch verhindern und garantiert, dass das Produkt nach Lieferung Integrität geliefert wird.

---1. Das Siegelverpacken, dann setzte sich in den Karton cas oder in Standardstandardsperrholzkiste.

---exklusiver kundenspezifischer Karton 2.Using mit Kundenlogo, jedes einzelne Verpacken, zum von Großverkäufen der Käufer zu helfen.

---Nehmen Sie Kundenanforderung an

Überprüfen Sie, ob jedes Paket für you.ensure maßgeschneidert ist, wenn Sie die Waren beschädigten nicht erhalten.